現(xiàn)象：真空泵抽空能力下降，經(jīng)測試真空泵在無負載狀態(tài)下極限真空為8Pa；真空泵進行拆解保養(yǎng)后，真空泵在無負載狀態(tài)下極限真空小于1Pa。
維護保養(yǎng)的過程：對帶回真空泵進行拆解保養(yǎng)及保養(yǎng)后性能測試，在拆解后發(fā)現(xiàn)真空泵腔體內(nèi)有大量雜質(zhì)沉積，真空油混濁且粘稠度較高，各級旋片出現(xiàn)不同程度磨損，止逆閥損壞、排氣閥片斷裂，具體說明如下：
1、真空泵油混濁且粘稠度較高，主要原因與腔室內(nèi)大量雜質(zhì)沉積和真空油更換周期較長有關(guān)，下圖為真空泵腔室內(nèi)放出的真空油及加入的新油。
2、真空泵抽氣濾網(wǎng)有大量雜質(zhì)沉積，網(wǎng)孔出現(xiàn)堵塞：
3、真空泵腔室內(nèi)有大量雜質(zhì)沉積和粘附，雜質(zhì)會隨真空泵的運行而流動，易造成真空泵轉(zhuǎn)子卡死、真空泵各級旋片劃傷及損壞、封堵油路、排氣閥片斷裂等情況，影響真空泵的抽空能力甚至導(dǎo)致真空泵轉(zhuǎn)子等主要部件損壞。
因大量雜質(zhì)已經(jīng)粘附于腔室內(nèi)，普通清洗難以去除，需采用化學(xué)試劑浸泡清洗和物理打磨的方法去除。經(jīng)確認，腔體內(nèi)雜質(zhì)以膠渣沉積物為主，其他成分無法確定，還需與客戶進行技術(shù)探討進行深入了解。
4、排氣閥片斷裂，下圖為換下的排氣閥片的新舊對比：
排氣閥片在真空泵內(nèi)起到單向閥的作用，斷裂后排氣閥片單向閥作用失效，導(dǎo)致真空泵無法正常抽真空，從而真空泵抽真空能力下降。
5、真空泵內(nèi)各級旋片出現(xiàn)不同程度磨損及劃傷，真空泵一級旋片側(cè)面摩擦面弧度已經(jīng)被磨平，導(dǎo)致旋片配合間隙變大，影響抽空能力。
6、真空泵油位監(jiān)視玻璃已經(jīng)出現(xiàn)腐蝕及雜質(zhì)附著的情況，無法清晰的對真空泵腔室內(nèi)的油位進行觀察。
7、真空泵轉(zhuǎn)子抽排氣濾網(wǎng)已經(jīng)損壞，出現(xiàn)一定程度的腐蝕情況。
8、真空泵腔體密封圈已經(jīng)損壞，不能繼續(xù)使用可能會造成漏油現(xiàn)象。
9、真空泵止逆閥已經(jīng)損壞，導(dǎo)致抽真空下降。
10、真空泵維護保養(yǎng)項目總結(jié)：
1）真空泵油更換；
2）真空泵內(nèi)腔體及轉(zhuǎn)子清洗、拋光；抽氣濾網(wǎng)清洗；
3）真空泵一級旋片、二級旋片、小旋片更換；一級旋片及二級旋片各一幅（兩片），小旋片為一片；
4）真空泵排氣閥片更換；
5）真空泵油位監(jiān)視窗玻璃更換；
6）真空泵轉(zhuǎn)子抽排氣濾網(wǎng)更換；
7）真空腔體密封圈更換。
8）真空泵止逆閥更換。
建議：在拆解檢測中發(fā)現(xiàn)真空泵腔體內(nèi)含有一些酸性雜質(zhì)附著于腔體內(nèi)壁及其他配件中，且真空泵內(nèi)雜質(zhì)太多，極易造成真空泵損壞，請注意真空等離子清洗機的真空泵需進行定期的拆解維護保養(yǎng)。
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